半導(dǎo)體工業(yè)電子超純水設(shè)備方案介紹及問(wèn)題解決
【純水設(shè)備www.zzdsjc.com】半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大
規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，
線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)，分別為
18MÙ.cm、15MÙ.cm、10MÙ.cm、2MÙ.cm、0.5MÙ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。
2.電子工業(yè)超純水設(shè)備特點(diǎn)
電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構(gòu)成預(yù)處理
系統(tǒng)、RO 反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI 電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間
水箱、RO 純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水
質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC 可編程控制器實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備，真正做到了無(wú)人值守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶
要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
3.電子工業(yè)超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
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