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電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

電子管生產(chǎn) 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

顯像管和陰極射線(xiàn)管生產(chǎn) 配料用純水

純水設(shè)備黑白顯像管熒光屏生產(chǎn) 玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗用純水

液晶顯示器的生產(chǎn) 屏面需用純水清洗和用純水配液

晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制

集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

二、典型工藝流程

    預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-拋光混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象 (≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

      預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)

      預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線(xiàn)殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥17MΩ.CM) (最新工藝)    

        預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(最新工藝)

    純水設(shè)備處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線(xiàn)殺菌器-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

三、達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)

  顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)(經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù))

    集成電路用純水水質(zhì)

    國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)

    美國(guó)SEMI標(biāo)準(zhǔn)